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高純氯化氫已廣泛地應(yīng)用在大規(guī)模集成電路制備中


創(chuàng)建時(shí)間 2020-09-28 11:19:50

  解吸法和鹽酸脫析法制備氯化氫工藝簡(jiǎn)單可大規(guī)模生產(chǎn),但制備的氯化氫氣體純度偏低,越來(lái)越不能滿足電子工業(yè)尤其是集成電路的要求。合成法生產(chǎn)的氯化氫氣體純度較高,但其中水含量高,腐蝕嚴(yán)重,對(duì)設(shè)備要求高,生產(chǎn)成本高??紤]到環(huán)保及丁業(yè)副產(chǎn)品回收利用等多方面因素,石油化工副產(chǎn)氯化氫提純法生產(chǎn)高純氯化氫確是大勢(shì)所趨,而且用這個(gè)方法無(wú)須外加反應(yīng)介質(zhì),從而避免了其他雜質(zhì)的引入,而且操作簡(jiǎn)單,生產(chǎn)成本低。但是我國(guó)在這項(xiàng)技術(shù)上還不成熟。我國(guó)電子工業(yè)所用高純氯化氫大多是從美、日等國(guó)進(jìn)El,且價(jià)格昂貴 ,隨著電子工業(yè)向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的發(fā)展,高純氯化氫已廣泛地應(yīng)用在大規(guī)模集成電路制備中,所以我們需要對(duì)高純氯化氫的制備方法和生產(chǎn)工藝做進(jìn)一步的研究和完善。

  先后用型分子篩和型干燥劑進(jìn)行了除去氯化氫中微量水深度的小試驗(yàn)。試驗(yàn)表明,除水深度相差不大,但JMT型干燥劑耐酸性好,在68%的硝酸中煮沸24小時(shí),并在常溫下浸泡3個(gè)月,其晶格仍未破壞。

  為了測(cè)定在吸飽HCl-H2O件下的耐酸性,曾使樣品吸HCl-H2O飽和后,用塑料袋密封放置多天,再生后再測(cè)其吸水性能,吸水量仍未下降。其耐酸性能良好。A型分子篩耐酸性能差,吸附性能大幅度下降。JMT型干燥劑是一種含硅鋁比的絲光沸石型分子篩,具有良好的熱穩(wěn)定性,除在300℃前有一脫水而引起明顯吸熱峰外,在900℃前無(wú)明顯的分解峰,說(shuō)明其晶格具有優(yōu)良的穩(wěn)定性。

  我公司專業(yè)經(jīng)營(yíng)高純氯化氫、氯氣、高純氯、高純氯氣、硫化氫等產(chǎn)品,產(chǎn)品質(zhì)量好,價(jià)格公道,深受行業(yè)的好評(píng),是值得信賴的氯氣生產(chǎn)供應(yīng)基地。歡迎新老用戶前來(lái)咨詢洽談!