氯磺酸主要用于制造磺胺類藥物和糖精，也用于制造農(nóng)藥、洗滌劑、離子交換樹脂、塑料及有機(jī)會(huì)成中的磺化劑。氯磺酸的生產(chǎn)采用三氧化硫與氯化氫氣體在130～230℃下進(jìn)行反應(yīng)，經(jīng)冷卻、分離制得成品。
    SO3＋HCl→ClSO3H
    化學(xué)級(jí)氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)裝置于1993年投產(chǎn)，經(jīng)山東省科委鑒定，主要用于醫(yī)藥中間體、農(nóng)藥及精細(xì)化學(xué)品制造業(yè)。電子級(jí)(VLSI)氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)裝置于2003年投產(chǎn)，經(jīng)北京市科委鑒定，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質(zhì)合金制造。5.0N電子級(jí)(VLSI)氯化氫產(chǎn)品分別經(jīng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心抽樣檢驗(yàn)，純度大于99.999%，總雜質(zhì)含量小于5ppm，產(chǎn)品性能指標(biāo)與國(guó) 際品牌相當(dāng)。5.0N電子級(jí)(VLSI)氯化氫產(chǎn)品經(jīng)國(guó)內(nèi)外多家半導(dǎo)體重點(diǎn)企業(yè)連續(xù)大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣泛使用，制得的器件產(chǎn)品質(zhì)量與國(guó)際知名品牌相當(dāng)。超純氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)裝置于2005年投產(chǎn)，目前處于試銷階段，主要用作標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和科學(xué)研究。