隨著氣體行業(yè)的發(fā)展，尤其是特氣行業(yè)的發(fā)展對氣體分析儀器的要求更高，在這樣的條件下，氦放電離子化檢測器(DID)氣相色譜儀及時解決了分析行業(yè)的難題。著重概述在高純氦氣、高純氪氣、高純氙氣、高純氯化氫氣體、砷烷等特氣分析中的應(yīng)用。

    電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。目前國內(nèi)的超高純度凈化技術(shù)主要依賴進口，自身的技術(shù)水準（6N）與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設(shè)計和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷， 提高制程的產(chǎn)量，滿足下一代半導(dǎo)體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。

    本項目將形成有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技術(shù)，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國產(chǎn)化問題。以上內(nèi)容由氯化氫生產(chǎn)廠家為您提供，謝謝您的閱讀！